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microwaveplasmachemicalvapordeposition相关论文
硼掺杂金刚石薄膜同质外延生长及肖特基势垒二极管制备
采用微波等离子体气相沉积(MPCVD)在商用3 mm×3 mm×1 mm高温高压合成(HPHT)Ib型(100) 金刚石衬底上同质外延生长B掺杂金刚石薄膜......
期刊
材料
金刚石薄膜
微波等离子体化学气相沉积
肖特基势垒二极管
materials
diamond thin film
microwave plasma chem
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